EDX能量色散X射線分析儀是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質相互作用時,采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級x射線,不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長不同,能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析,所用設備通常稱為能量色散譜儀。
EDX能量色散X射線分析主要單元是半導體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征x射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠不如波長色散譜儀,它有分析速度快的優(yōu)點,和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進行物相鑒定,只需幾分鐘就可以得到被測物質的全部衍射花樣。
根據分光方式的不同,X射線熒光分析可分為能量色散和波長色散兩類,也就是通常所說的能譜儀和波譜儀,縮寫為EDXRF和WDXRF。
EDX能量色散X射線分析通過測定熒光X射線的能量實現對被測樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析,相應的儀器稱之為能譜儀,通過測定熒光X射線的波長實現對被測樣品分析的方式稱之為波長色散X射線熒光分析,相應的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。
根據激發(fā)方式的不同,X射線熒光分析儀可分為源激發(fā)和管激發(fā)兩種:用放射性同位素源發(fā)出的X射線作為原級X射線的X熒光分析儀稱為源激發(fā)儀器;用X射線發(fā)生器(又稱X光管)產生原級X射線的X熒光分析儀稱為管激發(fā)儀器。
根據分析能力的大小還可分為多元素分析儀器和個別元素分析儀器。這種稱呼多用于能量色散型儀器。在波長色散型儀器中,根據可同時分析元素的多少可分為,單道掃描X熒光光譜儀、小型多道X熒光光譜儀和大型X熒光光譜儀。