EDX能量色散X射線分析作為一種快速分析手段，為我國的相關生產企業(yè)提供了一種可行的、低成本的、并且是及時的，檢測、篩選和控制有害元素含量的有效途徑；相對于其他分析方法，XRF具有無需對樣品進行特別的化學處理、快速、方便、測量成本低等明顯優(yōu)勢，特別適合用于各類相關生產企業(yè)作為過程控制和檢測使用。

 

　　能量色散型儀器的優(yōu)勢在于：可以對樣品不作特別復雜的處理而直接進行測量，對樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產的過程控制中，從熒光理論上，被測量樣品的預先處理是需要的，對于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術手段進行校正來滿足實際生產控制的需要，但即使采用了技術校正的手段，對不規(guī)則樣品的直接測量也是以犧牲測量準確度作為代價的。

 

　　EDX能量色散X射線分析具有較高的測量精度，但同時需要對被測量樣品進行簡單處理，更適用于進廠原材料、半成品、成品的準確檢測和質量控制；能量色散X熒光分析儀雖然測量精度稍差，但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優(yōu)點，因此可直接在生產線上用于各種部件、電子元器件的檢測。

 

　　專業(yè)的講使用濾光片的目的是消除或降低X射線管發(fā)射的原級X射線譜，尤其是靶材的特征X射線譜對待測元素的干擾，可改善峰背比，提高分析的靈敏度。

 

　　能量色散X射線熒光分析儀有兩種類型的濾光片：初級濾光片和次級濾光片。

 

　　1、初級濾光片是將濾光片置于光管和樣品間，其目的是為得到單色性更好的輻射和降低待分析元素譜感興趣區(qū)內的由原級譜散射引起的背景。

 

　　2、次級濾光片是將濾光片置于樣品和探測器之間，主要是對試樣中產生的多元素X射線熒光譜線進行能量選擇，提高待測元素的測量精度。